一、 离子源
1、 离子源灯丝安装
离子源灯丝应下方灯丝由凹槽固定,上方用垫片+螺母旋紧。
离子源灯丝线圈朝上安装,使线圈部分位于水平线上方。
2、 离子源磁钢
磁钢N极向上,高斯计测量的磁场强度范围应为2200Gs±100,并且保证气体分配器处磁场强度为200Gs±20。
通过旋转底部平台,调整离子源磁钢顶端距底部平台高度为45mm,长度由下端螺丝固定。